�g�J����f�U�C���@�Ԃ̐X�T���V�F�[�h

�T���V�F�[�h�͋@�\�D��A�f�U�C���͓�̎��\�\�����v���Ȃ���I��ł������������̂ł͂Ȃ��ł��傤���B�p�����|�����ƂŃK�[�f�����v���_�N�g�f�U�C�i�[�̋g�J�j�q����Ƀf�U�C�������肢�����Ƃ��A���܂ꂽ�̂����́u�Ԃ̐X�v�̕��ł����B�ԍ炭�t����A�t���F�Â������‚���H�܂ŁA�ꖇ�Ɏl�G���h��f�U�C���ł��B�u������������߂Ċy���߂�v�Ƃ����g�J����̑z���ƁA����������������Ղ���͂��A�ЂƂ‚ɂȂ�����_�ł��B

�g�J�j�q���񂪎l�G�̎��R��`�����A�ԍ炭�X�̃f�U�C��

�p����炵�Ŗ����ꂽ�g�J����̊������A�Ԃ�΂ƋG�߂̈ڂ낢���ꖇ�̕z�ɋÏk���܂����B�t�̃r�I���E�f�[�W�[�̏��Ԃ���A�����‚���H�܂ŁA����΂݂ƂƂ��ɒ��J�ɐD��o����Ă��܂��B�������璭�߂邽�тɒ�̉��s�����L����悤�ȁA��炵�ɗn�����ޔ������ł��B

�咣�������Ȃ��D�蕿���A��ɂ������ɂ�����ޏ�i��

�㎿�ȃW���K�[�h���n�ɉ��ʂ��‚��ĕ����o�����́A�v�����g�ƈقȂ���̓�������ɂ���ĕ\���ς��܂��B���O�ł͒�̐A�͂ƒ��a���A��������͐Â��ȑ��݊��ŋ�Ԃ��ʂ�܂��B�C���e���A�̎ז������Ȃ��̂ɁA�m���ɂ����ɂ���\�\����Ȑ▭�ȃo�����X�ł��B

��̊O�ǂɂ��A�͂ɂ��Ȃ��ށA�g�J����̃Z���X������2�F�W�J

�J�[�L�u���E���͓��{�̏Z��O�ǂƑ������悭�A�΂̐A�͂ɂ����R�Ɋ��Y���܂��B�O���[�x�[�W���̓I�[�g�N�`���[�����v�킹���i�ȐF�݂ŁA���F�n�E�g�F�n�ǂ���̃C���e���A�ɂ����킹�₷���ėp�������́B�����p�җl������u����̃O���[����Ƃ̊O�ǂƂ̑������ǂ��v�Ƃ����������͂��Ă��܂��B

�����EUV���H�ŁA���������J������肩�킵�܂�

�|���G�X�e��100���̐��n�ɝ����EUV���H���{���Ă���A�Ă̋������������Ղ�ƂƂ��ɁA���J�̂Ƃ��̐��󕨃J�o�[�Ƃ��Ă����p�ł��܂��B�ҏ��̎����ɒ��˓��������ȐA���̓��A���‚���������ʂ����Ă����A���͔h�̃V�F�[�h�ł��B

100�~200cm����200�~300cm�܂ŁA�p�r�ɍ��킹�đI�ׂ�3�T�C�Y

�|���o�����̈�ʂւ̎g�p����A�e���X���̍L���X�y�[�X�ւ̓W�J�܂ŁA�ݒu�ꏊ�ɉ�����3�T�C�Y���炨�I�т��������܂��B��������g�ݍ��킹�đ傫�ȃX�y�[�X�𕢂��A�����W���y���߂܂��B

�S�[���h�x�[�W���F�̌Œ�R�ƁA�l�b�g�g�p�Ő􂦂��y��

�t���̌Œ�R�̓V�F�[�h�̐F�݂ƒ��a����S�[���h�x�[�W���B���t�������܂Ŕ������d�グ���Ă��܂��B�V�[�Y���I�t�ɂ͐���l�b�g���g���΂��ƒ�̐���@�Ő􂦂�̂ŁA�����ɕۂ��Ȃ��璷�����g�����������܂��B

��𒭂߂�ЂƂƂ����A�Ă̊y���݂ɕς��܂�

�����z�˂��������G�߂��A���̌������ɉԂ̐X���h��Ă���΁A�������̒��ɖL���ȋC���������܂�܂��B�o���R�j�[�ɁA�|���o�����ɁA�e���X�Ɂ\�\�ꏊ��ς��Ȃ���A�G�߂��Ƃɋg�J����̐��E�ς��炵�Ɏ�����Ă݂Ă��������B�K�[�f�j���O����������ւ̑��蕨�ɂ��A�����Ɗ�΂���_�ł��B